一个集成电路后部工序的计算机辅助制造系统
为了适合集成电路后部工序——老炼筛选测试工艺的生产管理特点,提高其生产效率,在前部工序IC-CAM系统基础上设计开发了新的集成电路制造后部工序计算机辅助制造系统。对老炼筛选测试工艺IC-CAM的系统结构,系统中的主体数据表结构及为保证数据完整性一致性的事件触发器的设计,以及部分界面设计技术等进行了详细分析与介绍。该系统已完成现场安装调试,投入试运行,所有功能达到预定设计要求,提高了IC 后部工序的生产效率。
1.4 事件触发器设计
产品加工流程主要按照工程部制定的产品流程卡进行加工。IC-CAM 运行过程中,常常出现不同职能的人员同时对数据库进行增、删、改等操作。但各个表之间存在着复杂的内在关系,一旦这些关系遭到破坏,即数据库失去了其固有的完整性、一致性,系统便无法正常运行。为了使系统能够稳定正确运行,除了充分利用ORACLE 的基本关联技术(如主键、外部键等)外,还必须建立一种同步处理多个表的数据操作机制。运用
ORACLE 数据库系统提供的事件触发器设计技术,在服务器端为这些数据表设计了若干事件触发器,不仅快速准确地完成了相应的数据操作,同时也确保了系统数据的完整性和一致性。
事件触发器(Trigger)是存储在数据库中的一段SQL程序,它还可以配合使用一个存储的过程(Procedure) ,该过程在适当的条件下隐式地被激发(执行),对用户不透明。在ORACLE中允许在对表发出INSERT、UPDATE或DELETE语句时隐式地执行所定义的触发器,来补充ORACLE 的标准功能。
系统中经常使用3种主要的事件触发器,举例说明如下:

例1 插入事件触发器: after_Insert_oflow
DECLARE
c_forl epdflow.forl%TYPE;
v_stepname epdstep.stepname%TYPE;
BEGIN
IF :new.bgempno != 'DISPATCHER' THEN
UPDATE oltno
SET
fidate=:new.bgtime,
wfuum=:new.inwfs,
eqno=:new.eqno
WHERE lotno=:new.1otno;
END IF;
END after_insert_oflow;
上述源程序是一个插入事件激发执行的触发器,其功能是在oflow 表(在制品批跟踪表)增加了一行后,意味着此批已进入下一步流程,在制品状态表中要存放下步工序的有关数据,立即自动修改在制品状态表oltno 中对应行的各种信息,如fidate上线时间)、wfnum( 片数)、eqno(设备代码)等列(即下步流程信息)。
例2: 修改事件触发器after_update_oltno_state当修改了oltno 表(在测品状态表)的state(状态)列后,若state 列从"非I(非返工)"变为"I(返工)" ,则在oltinv( 返工操作信息表)中相应插入一行。等待测试调度员、操作员查看到该批的返工信息,进行相应的操作处理,并自动记录返工处理信息,作为以后统计分析的基础数据。
例3: 删除事件触发器after_delete_epdno其功能是若某产品停产后,在产品编号表(epdno) 中删除了一个产品(Device) ,则自动删去工艺操作条件记录表(epcvnospec) 、光刻掩膜编号表(optvno) 、生产计划表(oplan) 等表中的该项产品(Device) 的信息。在制品与工艺、设备之间、产品实时信息与历史信息之间、分级流程管理的各数据表之间,该系统需要完成大量的数据同步工作,所以需要使用多个触发器和过程,如测试工程部约有7个,生产部约有9个:而报表生产系统则采用了一个触发器,该触发器调用7个存储过程来产生各种形式的日报、周报、月报表数据。
2 系统设计的关键技术与实现
2.1 测试工艺流程卡的定制设计
定制的测试工艺流程卡是调度员及操作员在工作中要遵循的基本规毡,也是测试生产重要的输出报表。老炼筛选测试的各种流程卡与一般前部主序工艺流程卡相比,格式更复杂,工艺规范更加详细,需要在操作中需查询和录入的参数也较多。同时,在运行中用户需要随时查看或打印随件单来了解产品生产情况。我们不能直接使用原有前部工序IC-CAM系统的工艺流程卡生成模板,因为通过该生成模板制作的工艺流程卡,一步流程只能显示单条记录。而利用Powerbuilder9.0 中的复杂数据窗口技术来走制设计测试工艺流程卡,可以满足用户的需求。图4 就是复杂数据窗口定制设计的工艺流程卡,运用了嵌套的数据窗口和字符控制换行技术,实现了一步流程显示多行记录的复杂界面。

2.2 操作条件与工艺参数的确定与记录
以往的IC-CAM 由于主要用于前部工序的生产管理,而前部工序对操作条件和工艺参数是相对固定的,无需修改录入功能。与前部工序相比,后部工序如封装,筛选老炼测试等,他们的操作条件参数更加复杂,种类繁多,操作时经常要输入实际使用值,并能够随时查询,准确地跟踪与记录每一步的操作条件与工艺参数。针对这一特殊要求,我们重新设计了操作条件与工艺参数的跟踪查询与记录功能。如图5 所示,测试工艺员在制定老炼筛选测试等流程卡时,确定每一步所需的工艺参数与操作条件的规范值。操作员在进行某步测试或老炼筛选试验时,随时可查看规范值,并记录操作条件实际使用值及实测数据。此后,在查询界面中得到一张含有工艺操作条件参数记录与实测数据的随件单。
2.3 报表的分页显示打印
一般的数据窗口分页显示或打印是处理所有符合条件的记录。每个用户进行查询时,都是一次性将所有符合条件的记录读入服务器内存,然后再进行分页处理。运用Powerbuilder9.0 进行应用程序的开发过程中,可使用其提供的函数Print()对数据窗口进行打印。但是在实际应用中,Print()函数提供的功能远不能满足用户的需要,并且当数据库中的记录以及同时在线查询的用户超过一定数目时,这种分页方式会造成程序执行效率的下降。

根据客户的具体要求,某些报表需要每页显示固定格式或指定行数。而还有一些报表例如某测试检验流程卡报表,需要根据检验组别及工序步骤进行分页显示。这是我们在设计报表系统时所遇到的难点之一。本系统在处理类似报表的分页显示时采用了如下两种主要方法:
(1)对于某些要求按照检验组别以及检验步骤来分页显示的检验流程卡报表。我们首先在查询页面中要求客户指定所要查询的检验测试组别和检验步骤数,将相应的记录数读取出来再按一般方法进行分页。
(2)对于某些需要每页显示固定或指定行数的报表,如某微波器件筛选工艺流程卡等,首先在数据窗口中增加一个计算列,此计算列在Detail段的Expression中输入: ceiling (getrow()/x),其中x 是每页显示或打印的行数。x还可以用全局函数取代,这样可以允许用户自行设置每页打印多少行。然后定义分组,选择选单"Rows->Create Group" ,并按计算列字段分组。最后将"check box->New Page on Group Break" 选中。
3 结束语
集成电路后部工序一一老炼筛选测试IC-CAM 系统是在前部工序IC-CAM系统基础上,结合老炼筛选测试工艺的生产管理特点设计开发而成。该系统已完成现场安装调试,投入试运行,所有功能达到预定设计要求。使用该系统能够大量采集实时的生产批跟踪数据,随即进行统计分析,生成各种生产统计、质量管理图表,来实现合理调度、严格的质量管理。根据这些管理图表,管理者能够及时地掌握生产状况,→旦出现生产及设备的异常情况,立即做出快速反应。该系统可以推广应用于其它集成电路的生产与研究单位。
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